当该故障发生时，应当首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次，应当打开气镇，让泵运行30分钟左右，来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。

　　在排除以上两个因素后，引起真空泵抽不到极限真空度的主要原因有以下几个方面：泵油污染，需要换油;泵内油过滤器堵塞，引起压缩注油系统油路不畅，供油不足，导致泵体密封不严，这时需要清洗内部油过滤器;配油气阀门变形，磨损或损坏，也可导致供油不足，这时应检查更换配油气阀门;长时间使用引起真空泵的旋片磨损或转子内的弹簧张力不足，导致吸气室和排气室隔离不严，从而引起真空泵的抽真空性能下降，这时应当更换旋片和弹簧，并清洗转子和泵腔;检查排气阀门，观看其动作是否失灵，导致排气不畅，必要时更换排气阀门。