考虑到超高压电力变压器、直流换流变压器真空注油的工艺要求，真空滤油机应具有如下功能：

　　(1)同时具有真空滤汕与注油功能。

　　(2)进油泵、排油泵的流纽和扬程必须与滤油机净油能力和过滤系统的阻力(或通过压力)相匹配。

　　(3)具有强劲的真空提升能力，以适应油箱的大容积、高真空度，一般110kV及以下充油电气设备用变压器油的净化，采用一级真空滤油机，220kv及以上充油电气设备用变压器油的净化，采用二级真空以上滤油机。

　　(4)具有全自动运行功能，适应长期连续不间断运转要求。

　　(5)采用自动跟踪调速变流技术。为避免油泵或供油电磁阀的频繁启停造成断流与过油泵频繁供油不足、摩擦加剧、局部过热而产生乙炔和过急的油流产生的流动带电现高品质滤油机的自动油路不应再采用全开全关的泵或阀。

　　(6)滤油机应有再循环阀，以方便调节注油流速和提升注油压力。

　　(7)考虑到与油再生装置的配套使用.滤油机粗、细过滤器上必须有相应的接口。

　　无论哪种形式的真空滤油机，组成结构都大致相同，它是由一级滤网(粗滤)进油泵、加热器、真空罐、出油泵、二级滤，泵和冷凝器以及各种阀门等组成。主要是用来脱出油中微量水和气体，以满足超高压用油的质量要求。真空滤油机污染物来源：

　　(1)真空滤油机系统内部残留：制造或装配过程中残留于系统内部的切屑、焊渣、型砂;

　　(2)真空滤油机系统内部生成：元件运动副间磨擦生成的磨屑、内表面锈蚀生成的锈片;

　　(3)真空滤油机系统外部侵入：从油箱口或液压缸活塞杆伸出端进入的尘埃;

　　(4)真空滤油机维修中造成之污染：拆装。

　　5μm左右的颗粒是卡死阀芯、堵塞节流孔、在系统内产生沉积的主要原由。而15μm以上的颗粒将导致堵塞节流孔和加速元件磨损。导致阀芯和柱塞卡死的zui大威胁被认为是接近阀芯和柱塞径向间隙尺寸的固体颗粒。